HRSEM- AURIGA es un microscopio que proporciona información química, morfología y topografía de alta resolución. La capacidad de resolución del El AURIGA a través de sus sofisticada estación de trabajo HR-de Carl Zeiss ofrece información detallada y precisa con su nueva tecnología usando la columna tipo GEMINI, junto con una completa y nueva cámara de vacío diseñado para análisis avanzados, el AURIGA único en su clase nos ayuda a obtener la máxima información posible.
Especificaciones
| AURIGA ESSENTIAL SPECIFICATIONS |
| Resolution |
GEMINI column
1.0 nm @ 15 KV
1.9 nm @ 1 KV
Values measured at optimun working distance |
| Magnification |
12 x – 1000 kx |
| Probe current |
4 pA – 20 nA |
| Acceletarion voltage |
1.0 – 30 kV |
| Emitter |
Schottky Field Emitter |
| Stage |
6 – axis super eucentric, all motorized stage
Motion range X,Y = 100 mm
Z = 55 mm
Z´ = 10 mm
Tilt = -10 – 60°, Rotacion = 360° continuous
AWD (Analitical working distance) = 5 – 8 mm |
| Detectors |
In-lens: High efficiency annular type SE detector
SE: Chcamber: Everhart-Thornley type SE detector
BSD:
EDS:
|
| Chamber |
330 mm (Ø), 266 mm heigth
15 accessory ports for various options including STEM, 4QBSD, EBSD, EDS, WDS, SIMS, GIS system, local, charge compenstion and sample manipulation systems
2 x IR CCD-cameras included for sample viewing |
| System control |
Integrated SmartSEM user interface based on windows operating system, controlled by mouse, keyboard, joystick and control panel (optional) 2 x 19” TFT monitors included |
| Space requirement |
Minimun footprint: 2.3 m x 2.7 m
Minimun working area: 3.0 m x 4.0 m |